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5123A是一款高精度MEMS加速度計(jì),采用特殊的電容微傳感器技術(shù),單軸向輸出,基于電容原理的極距變化型的電容傳感器,低頻響應(yīng)從0Hz開始,具
5213A是一款高精度雙軸向MEMS加速度計(jì),采用變電容MEMS敏感元件,可同時(shí)輸出兩個(gè)軸向的加速度信號(hào),并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設(shè)計(jì),使得M
5214C是一款高精度雙軸向MEMS加速度計(jì),采用特殊的電容微傳感器技術(shù),同時(shí)輸出兩個(gè)軸向加速度,基于電容原理的極距變化型的電容傳感器,低
5320A是一款高精度三軸向MEMS加速度計(jì),采用變電容MEMS敏感元件,可同時(shí)輸出三個(gè)軸向的加速度信號(hào),并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設(shè)計(jì),使得M
5323A是一款高精度三軸向MEMS加速度計(jì),采用變電容MEMS敏感元件,可同時(shí)輸出兩個(gè)軸向的加速度信號(hào),并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設(shè)計(jì),使得M
5360A是一款低成本三軸向MEMS加速度計(jì),采用變電容MEMS敏感元件,可同時(shí)輸出三個(gè)軸向的加速度信號(hào)。傳感器敏感元件和內(nèi)置電路封裝在帶有安
5125A是一款高精度MEMS加速度計(jì),采用電容微傳感器技術(shù),單軸向輸出,基于電容原理的極距變化型的電容傳感器,低頻響應(yīng)從0Hz開始,具有測(cè)量
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